摘要: 1前言 Cr20Ni80高电阻电热合金靶是真空磁控溅射镀膜生产线中使用的一种镀膜靶材.Cr20Ni80高电阻电热合金属难切削材料,机械加工难度很大,各生产线为了确保镀膜玻璃的质量均一直从国外进口.为了降低镀膜成本,缩短加工周期,国内各靶材使用企业提出了国产化的要求,其重点是解决Cr20Ni80高电阻电热合金的切削加工难题.