摘要: 随着民用和尖端国防等领域对微小型产品需求的不断增加,对微小零件的加工精度、结构复杂程度、材料特性等要求越来越高.微细加工技术可以满足微余量、三维微形状和材料多样性的加工需求,是达到极限尺寸加工精度的手段.现已发展成为克服MEMS(微机械或微机电系统)技术局限性的重要使能技术之一.