Micro-Lam公司在激光辅助精密切削领域取得了显著的突破，其创新产品Micro-Lam不仅能够利用激光热软化工件表面，改善材料的局部切削性能，还能显著增大材料脆塑转变临界深度、降低工件表面粗造度、改善工件表面质量，同时降低刀具磨损，减小切削力的作用。

最近M10英国总部传来喜讯，又有新的突破。DKSH国内首家做了本次测试（分别加工D60，D80，D90的Si材料硅片）。本次测试使用设备为Nanotech-250MP，使用刀具为M10，本次测试仅作为参考。

检测方法：

用强光手电进行肉眼外观观察。

利用奥林巴斯显微镜对外观进行500倍放大观察。

利用三维测量显微镜Micro1000，依据相应的检测标准和流程，对测试件的粗糙度（Ra）进行测试。

强光灯下外观图

D60 边缘淡白色彩虹纹

D80 淡白色彩虹纹

D90 淡白色彩虹纹

显微镜下表面图

尺寸D60 圆心附近情况：无明显瑕疵  外圆附近情况：无明显瑕疵

尺寸D80 圆心附近情况：无明显瑕疵  外圆附近情况：无明显瑕疵

尺寸D90 圆心附近情况：无明显瑕疵  外圆附近情况：无明显瑕疵

Ra检测数据

型号尺寸D60  实测点1 Ra 2.67nm   实测点2 Ra 5.19nm

型号尺寸D80实测点1 Ra 1.04nm 实测点2 Ra 1.29nm

型号尺寸D90  实测点1 Ra 1.52nm   实测点2 Ra 1.31nm

实际分析结论

本次测试均使用激光辅助设备使用同一把刀具加工，加工参数为S4000 f5.5,切削0.006.（仅为参考值）。

最终使用Micro-Lam加工D80做使用寿命极限测试时，一把刀具从使用到磨损，圆心处不出现风车状磨损数为15-20次左右，且出现彩虹纹由浅逐渐变深，浅色彩虹纹均能经过简单抛光处理而无彩虹纹，而普通车刀不经过处理加工仅能加工出1-2次不磨损，暂不考虑后续彩虹纹问题。

确定本次新工艺的可行。

责任编辑：邵玉洁

审 核 人：吴晓兰