XL-80全新轻型激光干涉仪测量系统
XL-80全新轻型激光干涉仪测量系统
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XL-80全新轻型激光干涉仪测量系统详细信息

采用稳定可靠的激光波长进行测量,可溯源至国家标准和国际标准。提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下,系统准确性可达到±0.5 ppm(线性模式)和1纳米的分辨率。

 

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